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INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計， 在苛刻的生產環境中

具有穩定的性能. 先進的數字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點， 如一鍵調零功能和設點

調整. 抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有**的零點穩定性與預期數百萬次壓強周期包括大氣沖擊的

長使用壽命. 獨特的傳感器屏蔽 (**技術) 保護真空計防止過程污染. 堅固耐用的機械結構和數字

電子學加強了EMC 兼容性， 長期穩定性和溫度補償性. CDG025D 真空計為從電源接通后的快速

穩定與暴露大氣壓后快速恢復等特性設定了新的標準.

優點

■ 全刻度范圍從 100 毫乇… 1000 乇

■ 電源接通后快速穩定

■ 暴露大氣壓后快速恢復

■ 抗腐蝕性陶瓷傳感器

■ **的長期訊號穩定性

■ 溫度補償

■ 保護傳感器防止污染

■ 一鍵調零功能

■ 寬范圍電源

■ 兩個設點

■ RS232接口

■ 符合清潔室條件

用途

在要求高的應用中用于精確和快速的壓強測量:

■ 用于刻蝕， CVD， PVD， ALD 等半導體制造設備

■ 數據貯存和顯示器制造設備

■ 工業真空設備

■ 一般高精度壓強測量