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>C11295多點納米膜厚測量儀

C11295多點納米膜厚測量儀

直接聯(lián)系

濱松光子學商貿(mào)(中國)有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關(guān)注度:

952

產(chǎn)品介紹

C11295 多點納米膜厚測量儀

特性

  • 多達15點同時測量

  • 無參照物工作

  • 通過光強波動校正功能實現(xiàn)長時間穩(wěn)定測量

  • 提醒及警報功能(通過或失敗)

  • 反射(透射)和光譜測量

  • 高速、高準確度

  • 實時測量

  • 不整平薄膜精確測量

  • 分析光學常數(shù)(n,k)

  • 可外部控制

參數(shù)

型號C11295-XX*1
可測膜厚范圍(玻璃)20 nm to 100 μm*2
測量可重復性(玻璃)0.02 nm*3 *4
測量準確度(玻璃)±0.4 %*4 *5
光源氙燈
測量波長320 nm to 1000 nm
光斑尺寸Approx. φ1 mm*4
工作距離10 mm*4
可測層數(shù)*多10層
分析FFT 分析,擬合分析
測量時間19 ms/點*7
光纖接口形狀SMA
測量點數(shù)2~15
外部控制功能Ethernet
接口USB 2.0(主單元與電腦接口)

RS-232C(光源與電腦接口)

電源AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗約330W(2通道)~450W(15通道)

*1:-XX,表示測點數(shù)

*2:以 SiO2折射率1.5來轉(zhuǎn)換

*3:測量400 nm 厚SiO2 薄膜的標準偏差

*4:取決于所使用的光學系統(tǒng)或物鏡的放大率

*5:可保證的測量范圍列在VLSI標準測量保證書中

*6:鹵素燈型為C11295-XXH

*7:連續(xù)數(shù)據(jù)采集時間不包括分析時間

產(chǎn)品咨詢

C11295多點納米膜厚測量儀

濱松光子學商貿(mào)(中國)有限公司

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C11295多點納米膜厚測量儀 - 952
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