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C11011-01W微米膜厚測量儀

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濱松光子學商貿（中國）有限公司

日本

產品規格型號
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面議

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737

產品介紹

C11011-01W 微米膜厚測量儀

特性

  • 利用紅外光度測定進行非透明樣品測量

  • 測量速度高達60 Hz

  • 測量帶圖紋晶圓和帶保護膜的晶圓

  • 長工作距離

  • 映射功能

  • 可外部控制

參數

型號C11011-01W
可測膜厚范圍（玻璃）25 μm to 2900 μm*1
可測膜厚范圍（硅）10 μm to 1200 μm*2
測量可重復性（硅）100 nm*3
測量準確度（硅）< 500 μm: ±0.5 μm； > 500 μm: ±0.1 %*3
光源紅外LED（1300 nm）
光斑尺寸φ60 μm*4
工作距離155 mm*4
可測層數一層（也可多層測量）
分析峰值探測
測量時間22.2 ms/點*5
外部控制功能RS-232C / PIPE
接口USB2.0
電源AC100 V to 240 V， 50 Hz/60 Hz
功耗50W

*1：SiO2薄膜測量特性

*2：Si薄膜測量特性

*3：測量6 μm厚硅薄膜時的標準偏差

*4：可選配1000mm工作距離的模型C11011-01WL

*5：連續數據采集時間不包括分析時間

產品咨詢

C11011-01W微米膜厚測量儀

濱松光子學商貿（中國）有限公司

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C11011-01W微米膜厚測量儀 - 737
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