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· 使用簡單。只要您打開氣體質(zhì)量流量計，氣體質(zhì)量流量計便能顯示您所選工藝設備中的實時流量、壓力和溫度讀數(shù)。

· 連接。艾里卡特氣體質(zhì)量流量計默認采用數(shù)字與模擬兩種通訊方式；訂購時，可選擇以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通訊，方便與您的數(shù)字工業(yè)或?qū)嶒炇揖W(wǎng)絡整合。

  · 準確。流量測量具有NIST可溯源精度，適用于低至滿量程1/50th的各種氣體，還可利用COMPOSER?氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。

性能

· 可用量程：0-5000 slpm；*小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）

· 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）

· 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）

· 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）

· 可重復性：0.2%滿量程

· 標準質(zhì)量流量控制器響應時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）

· 無需預熱時間