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圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備

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直接聯(lián)系

合肥知常光電科技有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

知常光電

型號(hào)：

圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備

關(guān)注度：

309

產(chǎn)品介紹

圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備
型號(hào)AMMI-2000
晶圓尺寸200mm/300mm
晶圓類(lèi)型Semi Standards 、MEMS、Glass、Thin、Warped、Taiko、Frame
檢測(cè)方式2D測(cè)量
檢測(cè)模式明/暗場(chǎng)、偏光、微分干涉
分辨率6μm - 0.5μm
產(chǎn)率100WPH@300mm, 6μm
鏡頭可選配1X, 2X, 5X, 10X, 20X, 50X等放大倍率
檢測(cè)類(lèi)型劃傷、外來(lái)物污染、RDL缺陷等
通訊SEMI standard, SECS/GEM
自動(dòng)化EFEM ( 2 loadPort & Robot)


產(chǎn)品咨詢(xún)

圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備

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