粉體行業在線展覽
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光學缺陷檢測設備——WSD系列
直接聯系
睿勵科學儀器（上海）有限公司
上海
面議
睿勵科學
光學缺陷檢測設備——WSD系列
315
WSD系列產品是睿勵科學儀器(上海)有限公司自主研發、生產的全自動晶圓外觀缺陷檢測設備。
設備的基本檢測原理是利用光學系統成像、通過圖像分析的方式來捕抓并分類各種晶圓表面的缺陷。
該系列產品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型號產品，
適用于集成電路制造、化合物半導體等領域。
主要特點：
l 支持6/8/12吋wafer
l 可定制化兼容Frame產品
l 支持透明/非透明襯底片檢測
l 可檢測缺陷類型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等
l 具備晶圓全表面檢測、自動缺陷檢測分類以及高分辨率的缺陷復查功能
電腦組合體系VG42
UNI800C多物料配料控制儀
在線HPXRF檢測設備
PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學測量系統
金屬稱重檢測一體機
BSD-PB(氣液法)
在體皮膚拉曼分析儀
片式電容四參數測試機
0～10%糖度
三路浮子流量計 MFC-3F
Oilwear 在線油液清潔度檢測儀
