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產(chǎn)品型號(hào)

1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR -III

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：需要選配冷水機(jī)

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能。內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備

　　的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

2、滑軌式法蘭結(jié)構(gòu)，方便取放樣品。

3、設(shè)有雙K型測(cè)溫?zé)犭娕己鸵粋€(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)。

4、三個(gè)加熱區(qū)域?qū)崿F(xiàn)更長(zhǎng)的溫度區(qū)和一個(gè)特定的溫度梯度。

5、采用三個(gè)PID控制器，通過(guò)可控硅來(lái)進(jìn)行溫度控制，可以設(shè)置30段升降溫程序。

6、右端法蘭裝載石英管堵，用以阻止熱輻射；左端法蘭上設(shè)有4片磨砂石英擋片，用于阻止熱輻射。

7、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：?jiǎn)蜗?span>220V 8KW

2、石英管：外徑?216mm，內(nèi)徑?208mm，長(zhǎng)1300mm

3、加熱元件：Ni-Cr-Al電阻絲

4、加熱區(qū)域：長(zhǎng)900mm

5、溫區(qū)：3個(gè)，各300mm長(zhǎng)

6、恒溫區(qū)域：500mm（三個(gè)溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度）

7、工作溫度：≤1100℃，連續(xù)工作400℃-1000℃

8、升降溫速率：≤10℃/min

9、控溫精度：±1℃

10、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵）

11、熱偶檢測(cè)口：1個(gè)

12、真空接口：KF-25

13、進(jìn)氣接口：5路，精密不銹鋼針閥密封

14、爐體：1000mm×700mm×1060mm

15、滑軌：600mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：1780mm×1780mm×1650mm；重量：354kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管堵

1個(gè)

2

KF-25真空擋板閥

1個(gè)

3

KF-40不銹鋼波紋管

1根

可選配件

1、軟件接口模塊和PC機(jī)

2、K型熱電偶（?6.35mm×915mm，用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn)）

3、冷水機(jī)