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沈陽科晶自動化設備有限公司
遼寧
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產品簡介：OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發鍍膜（CSS）爐是一款快速蒸發管式爐，專門用于PVD或CSS法制作薄膜；其爐管外徑為11″，爐管內載樣盤可放置3″的圓形或2″×2″的方形基片；加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體頂端和底部，升溫速率高達20℃/s；溫控系統采用PID30段程序化控制，控溫精度為±1℃，并且儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導出。
產品型號 | OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發鍍膜（CSS）爐 |
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備需選配自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz（20A空氣開關），必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭） 4、工作臺：設備為落地式，占地面積1m2以上 5、通風裝置：需要 |
主要特點 | 1、為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構上。 2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（?76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。 3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發料。 4、真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過機械泵其腔內真空度可達10-2torr，通過分子泵真空度可達10-5torr。 5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動。 6、一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可以精確測量腔內真空度。 |
技術參數 | 1、電源：單相AC208V-240V（需20A的空氣開關） 2、真空腔體：高純石英管，外徑280mm，內徑275mm，高229mm 3、加熱元件：兩組IR紅外燈管，額定功率800W，總功率1600W 4、熱電偶：S型熱電偶2個，分別安裝于上下法蘭上 5、工作溫度：兩個加熱區域單獨工作的**溫度≤650℃，兩加熱區域**溫差≤350℃ 6、加熱速率：>8℃/s 7、冷卻速率：>10℃/s（600℃-100℃） 8、真空法蘭：316不銹鋼制作，配有1個KF-25接口、2個1/4″軟管接頭 9、真空計：數字式真空顯示計 |
可選配件 | 1、PC控溫軟件 2、兩路混氣系統 3、多路浮子混氣系統 4、多路質子混氣系統 5、真空泵 6、水冷機 |
