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美國SVT大容量閥控源

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產品介紹

SVT 閥控沉積源可精確控制高蒸汽壓材料的束流。其獨特地閥門設計，使該源具有很好的工藝重復性以及束流反應即時性。驅動閥門可選，可實現自動工藝控制。

閥控沉積源與束流分流口相連，可以在很大面積的襯底上沉積。分流口光闌可以調節束流形狀，是太陽能電池以及OLED沉積工藝的**選擇。分流口可與襯底非常接近，因此提高了沉積速率。

增加熱激發區域可選，此區域可以提高多原子大分子的活性。熱激發的分子降低了材料消耗，提高了材料質量以及S和Se的結合力。

針閥設計可以精確控制高蒸汽壓材料的束流

熱激發部件可選，可提高材料結合力

可客戶定制分流口

源容量大，適于長期生長

是太陽能電池和OLED應用領域的**選擇

饋入法蘭	4.5’’(DN63)CF 法蘭(其它尺寸可選)
**體蒸發溫度	450^oC，500^oC除氣
分流口**溫度	700^oC，900^oC除氣
源溫度穩定性	+/- 0.1^oC
熱偶類型	K型
電接插件	大氣下的燈絲：Amphenol環形燈絲 T/C:Omega亞微型
烘烤溫度	200^oC
束流穩定性	<1%，帶有集成束流傳感器
**操作環境壓強	1X10^-4Torr
沉積均一性	+/-6%(源與襯底距離300mm) +/-4%(源與襯底距離200mm)
加熱時間	400^oC< 60min
冷卻時間	100^oC <120分鐘

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