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Bench-Top Plasma Tool

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German First-Nano System 德國韋氏納米

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AGS Plasma Systems， Inc.

Now Celebrating Our 25thyear!

美國AGS成立于1991年，在等離子系統(tǒng)領域已有25年的歷程，是一家歷史悠久的等離子系統(tǒng)供應商，提供的真空等離子系統(tǒng)主要應用于圖案轉換中薄膜沉積，刻蝕，如微電子，MEMS，光伏，光電，納米科技等行業(yè)領域。

2012年Semicon West ，AGS公司推出一個新型的，桌面式 TT-150—RIE/CVD 系統(tǒng)，非常經濟實用，對世界各地大學，研究所來說這樣如此特色的RIE和CVD應用是非常**的。

  • 模塊化的TT-150適合半導體MEMS，TFT，PV的2寸---6寸應用。

  • AGS TT 等離子系統(tǒng)在一個平臺上提供了所有的功能特征

  • RIE，PECVD，和等離子刻蝕PE都能在一個易操作，低維護，實用簡單的平臺上實現(xiàn)，同時可以根據(jù)您的工藝要求升級您的需求

  • 當您需要更換工藝技術是，腔體的部件，材料，進氣裝置提供更多的工藝擴展

  • AGS依靠公司豐富的經驗為新工藝開發(fā)提供低成本的先進的技術資源便于提前研發(fā)先進的領域技術

  • 桌面式，占地面積小，節(jié)省實驗室空間

  • 工藝控制簡單，易于使用者操作

  • 兼容等離子刻蝕PE和PECVD，成本低

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German First-Nano System 德國韋氏納米

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