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技術規(guī)格

SPS-2000

SPS-2200

樣品尺寸

不大于 150mm

不大于200mm

樣品臺XY移動范圍

155mmx155mm

200mmx200mm

樣品臺XY移動分辨率

5um

5um

樣品臺XY移動軸承

精確橫軋輥

精確橫軋輥

臺面移動

12.7mm

12.7mm

臺面調整

粗調及細調，1.5mm重現(xiàn)性

粗調及細調，1.5mm重現(xiàn)性

臺面平整度

<12.7um (150mm臺面)

<12.7um (200mm臺面)

臺面剛性

<50um (4.5公斤承重)

<50um (4.5公斤承重)

真空卡盤

多區(qū)域真空吸附

多區(qū)域真空吸附

卡盤平整度

+/-13um

+/-13um

卡盤擊穿電壓

>500V

>500V

卡盤絕緣性

>1GW

>1GW

卡盤調節(jié)

360度粗調，+/-6度細調

360度粗調，+/-6度細調

顯微鏡

高品質立體顯微鏡，放大倍率：3.5X~180X，工作距離：200mm；

多種高倍顯微鏡；

高品質立體顯微鏡，放大倍率：3.5X~180X，工作距離：200mm；

多種高倍顯微鏡；

電學接口

BNC， Triax or Banana plug

BNC， Triax or Banana plug

尺寸

78cm x 80cm x58cm (W x D x H)

128cm x 122cm x 92cm (W x D x H)

重量

85kg ~ 95kg

85kg ~ 100kg

樣品快速裝載選件

不包括

包括