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在線面掃和單點檢測

MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。

樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。

電池生產線上的來料質量檢查是*常用的一種應用方向，同樣，鈍化和擴散后的工藝質量檢查也能用到此款產品。

還有許多其他的專門應用可能性。由于其易于集成，只需要以太網連接和電源。

特性

允許單片調查

配方的基礎測量

監控材料質量、工藝的完整性和穩定性

優勢在μ-PCD或穩態激發條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。

用于集成在生產線的多晶或單晶硅晶圓，包括材料制備，和各種工藝處理階段。

小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。優勢是長時間的可靠性和測量結果的高精度。