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XRD-OEM的特點▼

l 可以集成任何自動化或處理系統且適用于極端環境(研磨、鋸切)

l 緊湊、標準的工業接口

l 獨立定位測量，可測量平面或圓周

l 光學等級檢測

l 解決了行業難題:

① 如果加工設備和定向測量是分開的，那么就會因為樣品轉移而造成定向誤差

② 市場對于精確對齊的晶圓的需求量越來越大

l 將測量過程整合到工業生產中（研磨或鋸切）

技術參數▼

l 可測量材料：硅，碳化硅，砷化鎵及更多

l 樣品尺寸：鋼錠直徑450毫米

l 冷卻：空氣，低噪音

l 可能的用途：在鋸/磨/平/缺口檢測前對大型晶錠進行預對準

應用實例▼

硅錠取向:

磨削前對平面和缺口位置的檢測

樣品直徑可達8 "，長度可達40厘米

XRD-OEM適配普遍的打磨設備▼

無需移動樣本即可進行定向，可與打磨產線相結合直接進行在線檢測

可以直接集成到基礎機圓磨床72/856上