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Trion Orion HDCVD高密度化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

直接聯(lián)系

German First-Nano System 德國(guó)韋氏納米

美國(guó)

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面議

關(guān)注度:

989

產(chǎn)品介紹

Orion HDCVD 高密度氣相化學(xué)沉積系統(tǒng)采用高密度的化學(xué)氣相沉積技術(shù),在惰性氣體進(jìn)入口安裝感應(yīng)線圈,周圍布置陶瓷管。射頻創(chuàng)建等離子體,通過(guò)氣體環(huán)在襯底表面附近引入揮發(fā)性氣體。當(dāng)惰性氣體與揮發(fā)性物質(zhì)結(jié)合時(shí),會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),然后在襯底表面沉積一層薄膜.

該技術(shù)不需要將襯底加熱到典型的PECVD溫度,并且該方法非常適合沉積在有機(jī)物、柔性襯底和其它具有溫度限制的表面上。

射頻可通過(guò)Chuck改變薄膜性能。

該系統(tǒng)可以升級(jí)傳送Loadlock,或添加到集群平臺(tái)Cluster。

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Trion Orion HDCVD高密度化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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