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**、產(chǎn)品簡介：

韓國CTS公司的AIP300型CMP拋光機是一款12寸工業(yè)級CMP系統(tǒng)，可兼容4寸，6寸，8寸，12寸樣品，可用于工廠及小批量量產(chǎn)。

第二、產(chǎn)品主要特色：

1、CMP拋光頭：采用氣囊加載模式，5區(qū)壓力獨立控制，可得到良好的工業(yè)級拋光效果；

2、自動上下片，自動拋光，干進干出；

3、拋光墊修整器：擺臂式設(shè)計，由13個傳感器分別控制13個區(qū)域的下壓力，可保證拋光墊高水平修整；

4、拋光墊修整器：具有在線修整與離線修整兩種模式；

5，工藝數(shù)據(jù)可實時監(jiān)測；

6、可存儲多個Recipe；

7、帶兩個手臂及自動雙面清洗設(shè)備

第三、核心技術(shù)參數(shù)：

四，應(yīng)用實例：

?CMP工藝 Si CMP， 氧化物 CMP(BPSG， TEOS， ThOx)， 金屬 CMP(W， Cu)， 介質(zhì)膜，STI等

?工藝開發(fā)可協(xié)助客戶進行各類材料/薄膜等的CMP工藝技術(shù)開發(fā)