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二維材料生長設備(MoS2, h-BN, CNT等)

直接聯(lián)系

上海載德半導體技術有限公司

英國

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關注度:

2036

產(chǎn)品介紹

二維材料制備設備(TCVD) - 配備熱壁石英管和LabVIEW自動控制軟件,可用于MoS2 / h-BN / CNT/Graphene等常見二維材料的生長。

技術規(guī)格如下:

1. 石英管及工藝爐 QUARTZ TUBE & FURNACE

- Tube Dimensions: ф100*1200mm

- Furnace Body (WxHxD): 500x500x350

- Heater: Kanthal Wire w/ Glass Wool Molding

- Maximum Temperature: 1,100°C

- Thermocouple: K type, ID 6.5 mm

- Heating Zone: 1-zone, ф100*350mm

- Linear Motion Control Unit

- Manual Furnace Door

2. 氣路 GAS SUPPLY UNIT

- Three (3) Mass Flow Controllers w/ 1% FS Accuracy

a) Hydrogen (H2), 100sccm

b) Methane (CH4), 200sccm

c) Argon (Ar): 1,000sccm

- Open Mounting Bay for Fourth (4th) MFC

- 0.25” Stainless Steel Tubing

- Five (5) 0.25” Pneumatic-Type Diaphragm Valves

3. 真空及壓力控制 VACUUM & PRESSURE CONTROL UNIT

- Convection Gauge

- Convection Gauge Controller

- 10 Torr Capacitance Manometer

- Motor-Geared Throttle Valve

- Pressure & Flow Controller

- Oil Rotary Pump (340L/M)

4. 系統(tǒng)控制單元 SYSTEM CONTROL UNIT

- MS Windows 7 Embedded PC

- PLC Module with National Inst. LabVIEW Interface

- 19” LCD Monitor

5. 安全及冷卻 SAFETY & COOLING

- Water Cooled End Flanges

- Buzzer Alarm & System Error Display

- Interlock System

6. 設備尺寸及實驗室要求 DIMENSIONS & UTILITY REQUIREMENTS

- Footprint: 1.75m (W) x 1.60m (H) x 0.75m (D)

- Weight: ~200kg

- Power: 220V, 50/60Hz, 3Φ, 4-wire, 30A

- Air: 4-5kgf/cm2, 0.25” tube

- Water: 2-3kgf/cm2, 0.25” tube

參考用戶:

劍橋大學,牛津大學,曼徹斯特大學,萊斯大學,斯坦福大學,新加坡國立大學,東京技術研究所,東京大學,韓國東國大學等...

產(chǎn)品咨詢

二維材料生長設備(MoS2, h-BN, CNT等)

上海載德半導體技術有限公司

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