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勻膠機，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，英文叫Spin Coater或者Spin Processor。總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝， 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜，并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。

由我司提供的勻膠機，在高校、研究所及半導體產業享有很高的聲譽，相信能滿足您多種不同應用要求。

產地：韓國ECOPIA公司

型號：SP-6

技術規格：

1. 旋轉襯底**尺寸：四英寸、六英寸、八英寸、十二英寸等；

2. 按客戶需求提供整體解決方案，可以旋涂*小3mm， **1000mm襯底；

3. 從手動到全自動溶質分配的選擇范圍寬大；

4. 無振動轉速**5000RPM；

5. 真空吸附，無污染；

6. 臺式勻膠機，占用空間小；

7. 具備耐化學性的無縫聚丙烯外罩，并且勻膠機主機易清洗；

8. 聚四氟乙烯（PTFE）的勻膠機可用于強腐蝕性化學材料；

9. 液晶顯示屏人機界面，甚至帶著手套都可以方便使用；

10.可以準確重復運行程序的數字程序控制系統；

11. 高度靈活的多重可編程步驟組成復合程序；

12. BLDC馬達，高穩定性，無熱量散發(優于DC馬達)；

應用范圍：

可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數的有機溶液、水溶液；