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產品特點：

? 薄膜到厚膜的測量范圍、UV～NIR光譜分析。

? 高性能的低價光學薄膜測量儀。

? 藉由**反射率光譜分析膜厚。

? 完整繼承FE-3000高端機種90%的強大功能。

? 無復雜設定，操作簡單，短時間內即可上手。

? 非線性*小平方法解析光學常數(n:折射率、k:消光系數)。

產品規格：

應用范圍：

? 半導體晶圓膜(光阻、SOI、SiO2等)

? 光學薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)

應用范例：

? PET基板上的DLC膜

? Si基板上的SiNx