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單位

SDA50

SDVA70

抽氣速率Pump speed（50/60HZ）

L/min

700/833

1000/1200

m3/h

42/50

60/72

極限壓力 Ultimaate Pressure

Torr

7.5*10-3

mbar

1*10-2

Pa

1

馬達 Motor

額定功率 Rated power

Kw

2.2

2.2

底壓功率 Ultimate Pressure Power

Kw

1.9

1.9

管路連接 Connnection

入氣口  Inlet

DN40

DN40

出氣口  Outlet

DN25

DN25

*低流量 Min.Flow

L/Min

**壓力 Max.Pressure

kg/cm3

壓力差 Pressure Dif.

kg/cm3

溫度 Temp.

℃

接頭

氮氣（選配）  N2

壓力 Pressure

Mpa

0.05-0.2

流量  Flow

slm

6-10（sealing gas）

0-50（Dilute）

接頭 Connection

Swagelok 1/4''

尺寸

長*寬*高 L*W*H

mm

重量 Weight

Kg