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抽氣速率Pump speed（50/60HZ）

L/S

22/26

42/50

66/83

m3/h

80/96

150/180

240/300

極限壓力 Ultimaate Pressure

Torr

7.5*10-3

mbar

1*10-2

Pa

1

馬達 Motor

額定功率 Rated power

Kw

4

5.5

7.5

底壓功率 Ultimate Pressure Power

Kw

3.5

6.2

6.2

管路連接 Connnection

入氣口  Inlet

DN50

DN50

DN65

出氣口  Outlet

DN40

DN50

DN50

*低流量 Min.Flow

L/Min

3

**壓力 Max.Pressure

kg/cm3

4

壓力差 Pressure Dif.

kg/cm3

1

溫度 Temp.

℃

10-40

接頭

Pt 3/8''