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>SAB6210-全自動 親水性鍵合設(shè)備

SAB6210-全自動 親水性鍵合設(shè)備

SAB6210-全自動 親水性鍵合設(shè)備

直接聯(lián)系

青禾晶元半導(dǎo)體科技（集團）有限責任公司

天津

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

青禾晶元

型號：

SAB6210-全自動 親水性鍵合設(shè)備

關(guān)注度：

301

產(chǎn)品介紹

SAB6210是一款親水性鍵合（Fusion Bonding）設(shè)備，通過等離子體處理、水洗甩干使晶圓表面富集-OH，在大氣或真空環(huán)境、室溫下進行對準、鍵合。

  • 項目

    指標

  • 晶圓尺寸

    6、8、12 inch

  • 適配材料

    SOI、POI

  • 產(chǎn)能

    ≥14 pairs/h

  • 上料模式

    Cassette、SMIF、Foup可選

  • 對準精度

    Mechanical alignment: ≤ ±50μm；Optical≤±0.5μm（Cavity bonding）

  • 鍵合強度

    ≥2.0J/m2 (Si-SiO2，退火后)

  • 多模塊一體化集成

    尋邊、等離子體活化、清洗、（對準）、鍵合、檢測、解鍵合

  • 藥液清洗

    選配

  • 微環(huán)境

    FFU控制，可達ISO Class1


產(chǎn)品咨詢

SAB6210-全自動 親水性鍵合設(shè)備

SAB6210-全自動 親水性鍵合設(shè)備

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SAB6210-全自動 親水性鍵合設(shè)備 - 301
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