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SAB6210 HB-全自動(dòng) 混合鍵合設(shè)備

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直接聯(lián)系

青禾晶元半導(dǎo)體科技（集團(tuán)）有限責(zé)任公司

天津

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

青禾晶元

型號(hào)：

SAB6210 HB-全自動(dòng) 混合鍵合設(shè)備

關(guān)注度：

269

產(chǎn)品介紹

SAB6210HB是一款混合鍵合（Hybrid bonding）專用設(shè)備。用于混合鍵合的晶圓表面有Cu pad和介電材料（SiO2或SiCN等）組成的圖案，并且Cu pad有一定的下凹量（Dishing），通過(guò)等離子體處理、水洗甩干使圖案晶圓表面的介電材料富集-OH，在大氣、室溫下通過(guò)MARK進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn)、鍵合。



產(chǎn)品咨詢

SAB6210 HB-全自動(dòng) 混合鍵合設(shè)備

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SAB6210 HB-全自動(dòng) 混合鍵合設(shè)備 - 269
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