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SAB6410TB-全自動 臨時鍵合設(shè)備

SAB6410TB-全自動 臨時鍵合設(shè)備

直接聯(lián)系

青禾晶元半導體科技（集團）有限責任公司

天津

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

青禾晶元

型號：

SAB6410TB-全自動 臨時鍵合設(shè)備

關(guān)注度：

267

產(chǎn)品介紹

SAB6410TB是一款全自動臨時鍵合機，集成旋涂、烘烤、對準、鍵合等功能，通過黏合劑將兩個晶圓鍵合在一起，從而可進行器件晶圓的背面工藝。

  • 項目

    指標

  • 晶圓尺寸

    4、6、8、12inch

  • **溫度

    350℃

  • **壓合力

    20kN，控制精度 ≤±1%

  • **升溫速度

    20℃/min

  • 溫度均勻性

    ≤±1.5%

  • 對準精度

    ≤±100μm

  • 鍵合后TTV

    ≤3μm

  • 多模塊一體化集成

    尋邊、旋涂、烘烤、鍵合、檢測


產(chǎn)品咨詢

SAB6410TB-全自動 臨時鍵合設(shè)備

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