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SAB9500-半自動(dòng) 超原子束拋光機(jī)

SAB9500-半自動(dòng) 超原子束拋光機(jī)

直接聯(lián)系

青禾晶元半導(dǎo)體科技（集團(tuán)）有限責(zé)任公司

天津

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

青禾晶元

型號(hào)：

SAB9500-半自動(dòng) 超原子束拋光機(jī)

關(guān)注度：

297

產(chǎn)品介紹

SAB9500是一款半自動(dòng)的超原子束拋光機(jī)，可利用超原子束對(duì)2-12寸晶圓或不規(guī)則樣品進(jìn)行超精密表面拋光，可加工材料包括Si、SiC、InP、GaAs、GaN、金剛石、LN、LT、光學(xué)晶體等。

2-12寸及不規(guī)則樣品兼容晶圓尺寸

  • 項(xiàng)目

    指標(biāo)

  • 晶圓尺寸

    2-12寸及不規(guī)則樣品

  • 上料模式

    手動(dòng)上下料

  • 傳輸系統(tǒng)

    手動(dòng)/定制工裝

  • 去除效率

    60keV：800 ?*cm2/s@SiO2
    20keV ：40 ?*cm2/s@SiO2

  • 支持工藝氣體

    Ar/SF6/O2/He或其他混合氣體

  • 束流強(qiáng)度

    ＞100μA @Ar

  • 束斑尺寸

    半高寬<10mm


產(chǎn)品咨詢

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