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CVD-Quadiance6/8吋薄膜沉積設備

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盛吉盛(寧波)半導體科技有限公司

浙江

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品牌:

盛吉盛

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CVD-Quadiance6/8吋薄膜沉積設備

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產(chǎn)品介紹

Quadiance 系統(tǒng)適用于6/8 氧化硅、氮化硅、氮氧硅介質(zhì)層等薄膜沉積工藝。平臺采用多腔體架構(gòu),每個腔體可以實現(xiàn)2片晶圓同時工藝,提升系統(tǒng)WPH。廣泛應用于集成電路,化合物半導體,功率半導體以及MEMS等領域。

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