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晶圓清洗機

CMP清洗

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北京艾姆希半導體科技有限公司

北京

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型號：

CMP清洗

關注度：

6

產品介紹

化學濕法清洗設備

  • 適用于晶圓CMP后清洗

  • 全自動的高自動化形式（濕進干出）

  • 支持 6"、4"晶圓清洗

  • 配備自凈功能

  • 內外環境隔離：干濕分離

  • 晶圓缺失檢測報警系統

  • 旋干及熱N? 吹干系統


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