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CDP-800全自動

CDP-800

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北京艾姆希半導體科技有限公司

北京

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面議

型號：

CDP-800

關注度：

11

產品介紹

  • 拋光頭可實現3 zone壓力控制

  • 全系列機型可加工2-8寸及異形晶圓

  • 納米級別移除精度

  • 拋光粗糙度、速率、一致性行業**

  • 具備精準的光學EPD終點檢測功能

  • 拋光頭壓力可調制高達12psi

  • 可編輯和儲存至少100條以上工藝菜單

  • 可實現盤溫監控、自動冷卻、自動沖洗


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