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在半導體制造中因其高純度、高溫穩定性和耐化學腐蝕性能而被廣泛應用。配合內管用于化學氣相沉積（CVD）及其增強版（PECVD），以供進氣及測溫。在這些過程中，石英外管提供了一個純凈、穩定的環境，防止雜質污染，是半導體制造過程中不可或缺的重要材料。