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超高真空管道傳輸設備

直接聯(lián)系

合肥致真精密設備有限公司

安徽

產品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

致真精密

型號：

超高真空管道傳輸設備

關注度：

1071

產品介紹

生產型磁控濺射設備是針對生產企業(yè)實驗室和產線研發(fā)的一系列高性能、高效率的磁控濺射裝備。MSI-200型磁控濺射設備采用多個真空腔室互聯(lián)的設計，通過Cluster內置的三維機械手實現(xiàn)晶圓的傳輸，可搭配多個濺射室或處理腔室，適用于生產產線或實驗線。

性能參數(shù)

晶圓尺寸	8吋向下兼容
極限真空	優(yōu)于5×10-10mbar
對接口	每節(jié)管道可連接一套系統(tǒng)，對接口CF250及以下。
傳輸裝置	磁力傳輸，可同時傳輸多片
進樣室	可選配獨立進樣室
校準裝置	光電傳感器
真空系統(tǒng)	機械泵+分子泵，可選離子泵等
控制系統(tǒng)	PC+PLC 安全互鎖，碰撞保護,真空互鎖等

產品咨詢

超高真空管道傳輸設備

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