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■概括

　　螺桿式無油機械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺杄與右螺杄作髙速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內(柱形等螺距)進行傳輸運動。兩螺桿經精細動平衡，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿，螺杄與泵體之間都有一定的間隙，泵工作時相互之間無摩擦，運轉平穩、噪音低，且工作腔無需潤滑油，因此螺杄真空泵適用于半導體、電子以及要求潔凈真空的場合，完全可以代替油封式機械泵、水封式機械泵成為新一代的主要真空獲得設備。

　　■型號/性能/參數