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JTFB-1600復(fù)合分子泵

JT系列復(fù)合分子泵

表-3    JTFB-1600復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)表
型號		JTFB-1600
高真空法蘭(mm)		250 CF/250 ISO-K
前級管道法蘭(mm)		50 KF
抽氣速率(L/S)(對空氣)		1600
壓縮比	N2	>109
	H2	>1X104
極限壓強(Pa)		<8×10-8/<5×10-7
瞬時耐壓		5000Pa
電機轉(zhuǎn)數(shù)(rpm)		24000
振動值（μm）		≤0.15
啟動時間(min)		＜6
停機時間(min)		8
建議采用的前級泵（L／S）		15
冷卻方式		水冷
水冷泵冷卻水溫度（℃）		≤20
冷卻水流量(L/min)		1~2
泵體烘烤溫度（℃）		<120
加熱器功率(w)		<350
加熱器輸入電壓(v)		AC220
安裝方向		垂直±5°
泵重量(kg)		≈31

JTFB-1600復(fù)合分子泵對大氣的抽速曲線

JTFB-1600復(fù)合分子泵對氮氣及氫氣的壓縮比曲線