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低溫真空泵(又稱冷泵)是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的超高真空獲得設備。低溫真空泵廣泛應用于半導體、集成電路、光學鍍膜、太陽能電池板、平板顯示器、光電子器件和真空電子器件的制造工藝過程，是集成電路制造工藝設備PVD、離子注入的關鍵零部件之一。低溫真空泵也用于各種空間環境模擬、高能物理、加速器、真空校準檢測等真空應用設備中。