>EVG 610光刻機(jī)

品牌展臺：亞科電子（香港）有限公司

產(chǎn)品

EVG 610光刻機(jī)

直接聯(lián)系

亞科電子（香港）有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

亞科電子

型號：

EVG 610光刻機(jī)

關(guān)注度：

1178

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡介：

EVG 610是一款入門級光刻機(jī)，支持接近式、軟接觸、硬接觸、真空接觸4種曝光方式，可選配背面對準(zhǔn)模塊。也可用于鍵合對準(zhǔn)及納米壓印光刻（NIL），是科研開發(fā)用戶的理想選擇。

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·**支持8英寸（200mm）晶圓

·頂部及底部對準(zhǔn)：

頂部對準(zhǔn)精度≤±0.5μm

底部對準(zhǔn)精度≤±2μm

紅外對準(zhǔn)精度≤±2μm（取決于襯底材料）

鍵合對準(zhǔn)精度≤±2μm

納米壓印對準(zhǔn)精度≤±2μm

·支持汞燈或UV-LED光源

·自動楔形補(bǔ)償程序

·可選配功能：

鍵合對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

納米壓印光刻（NIL）

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EVG 610光刻機(jī)

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EVG 610光刻機(jī) - 1178

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