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儀器簡介：

HIDEN RGA/3F/PIC 系列殘余氣體分析四極質譜儀(Residual Gas Analysers)，檢測容器中的存在組分，或進行過程中產生氣體的分析。針對真空診斷的精確分析。1-50amu高分辨四極桿質譜。

· 殘余氣體或泄漏檢測

· 實際泄漏或脫附分析

· 除氣研究

· 烘烤周期

· 泵效能

· 腔室/過程氣體污染物

主要特點：

· 靈敏度PPM，質量數至300amu

· 穩定性（24小時以上，峰高變化小于±0.5%）

· MASsoft軟件控制，或由局域網進行多個系統控制

·閾值離子化模式分析D2/He

· 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰

· 混合模式掃描－多個windows窗口顯示信息，例如趨勢、柱狀圖和信號峰

· 同步顯示數據圖，列表

· 同步背景扣除，自動質量數列表

· 數據輸出為ASCII格式，至windows設備

· 即時動態數據交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如

· Excel、SPC-IV統計過程控制軟件等