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公斤級硅負極(硅碳、硅氧碳)cvd爐

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臨沂東木窯爐設備有限公司

山東

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3021

產品介紹

公斤級硅負極(硅碳、硅氧碳)cvd爐

適用物料:納米硅、硅氧(氧化亞硅)、多孔硅

使用工況:CVD氣相沉積碳包覆(一次包覆、二次包覆)

均勻包覆碳含量:1.6%-22%(可控可調)

適用氣體:氮氣、氬氣、甲烷、乙炔、氨氣(丙酮、苯、乙醇、瀝青等)

公司備有多臺公斤級、百公斤級硅負極用cvd爐系統供客戶實驗用,公司目前已完成300+批次的硅負極cvd實驗,通過客戶反饋實驗數據不斷優化cvd爐的設計。通過大量積累了豐富的cvd經驗。


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公斤級硅負極(硅碳、硅氧碳)cvd爐

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