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特點(diǎn)：
l 采用三套獨(dú)立的電腦控制機(jī)械臂自動化作業(yè)；
l 采用第三代技術(shù)，全面完善的防酸防腐措施，保護(hù)到機(jī)器每一個角落。
l ***全自動補(bǔ)液技術(shù)。
l 獨(dú)特的硅片干燥前處理技術(shù)，保證硅片干燥不留任何水痕。
l 成熟的硅片干燥工藝，多種先進(jìn)技術(shù)集于一身。
l 彩色大屏幕人機(jī)界面操作，方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式轉(zhuǎn)換。

主要應(yīng)用：

半導(dǎo)體硅片、太陽能電池硅片、晶體、電阻、電容、PCB板、IC芯片、接插件、連接件、轉(zhuǎn)接器、硅片、三極管、二極管、電子線路板、電腦主板、壓電陶瓷基片、顯象管、電真空器件等電子器件的生產(chǎn)加工過程工序間的清洗