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微波等離子清洗機由五部分組成:外殼框架系統(tǒng)、微波放電系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，該設備控制方式為觸摸屏+PLC，操作方式包括自動模式和手動模式，在自動模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理，可同時存儲50組不同的配方。設備設計有工作氣體耗盡報警，壓縮空氣壓力低于設定值報警、泵熱過載報警、反應倉泄露率過大報警等安全功能。微波等離子清洗作為一種綠色無污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免靜電損傷。

微波等離子清洗機原理:

微波筆離子是由工作頻率為2.45GHz的微波激發(fā)工藝氣體放電,在直空腔內(nèi)壓力到達一定范圍時充入工藝氣體,當腔內(nèi)壓力為動態(tài)平衡時，利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場將氧、氙、氫等工藝氣體電離，生成等離子體，活性等離子體對被清洗物進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態(tài)物質，經(jīng)過抽真空排出，而達到清洗目的。