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擴(kuò)散氧化爐（科研型）

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湖南艾科威半導(dǎo)體裝備有限公司

湖南

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

艾科威

型號(hào)：

擴(kuò)散氧化爐（科研型）

關(guān)注度：

1094

產(chǎn)品介紹

技術(shù)指標(biāo)

●適用晶片尺寸： 2~8英寸圓片

●工作溫度： 600℃～1300℃；

●可配工藝管數(shù)量：1~2管/臺(tái)

●恒溫區(qū)長度及精度：≤±0.5℃/300~600mm （800℃～1300℃），

● 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：≤±0.5℃℃ /24h （1100℃）；

●溫度斜變能力：**升溫速率20℃/min，**降溫速率5℃/min；

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擴(kuò)散氧化爐（科研型）

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