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   主要用于厚膜管殼封裝前的干燥，半導體制造過程中硅片、砷化鎵、玻璃等材料的干燥烘烤處理。

    多層獨立控溫，溫場均勻；爐膛采用可視化結構；內置不銹鋼加熱器鋁制加熱板，測控溫采用雙芯鉑電阻，一芯用于控溫，另一芯用于測溫，表面溫度均勻；觸摸屏+PLC集中控制，可以實現抽真空、充保護氣任意順序循環設置，加熱及真空曲線可編程控制。