粉體行業在線展覽
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OTF-1200X-80-III-F3LV
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合肥科晶材料技術有限公司
安徽
面議
科晶
OTF-1200X-80-III-F3LV
4170
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1200℃三溫區三通道混氣CVD系統
型號：
OTF-1200X-80-III-F3LV
產品概述：
OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區管式爐CVD系統，其管徑為80mm，采用機械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統組成，其真空度可達到 10-2 torr。
| 殼體結構 | · 雙層殼體結構并帶有風冷，使得殼體的表面溫度小于60度 · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環保節能 · 內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 可開啟式，更換爐管方便 |
| 功率 | 5 KW |
| 電壓 | AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
| 加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
| **工作溫度 | 1200℃ |
| 連續工作溫度 | 1100℃ |
| **加熱速率 | ≤20 ℃/min |
| 石英管& 密封法蘭 | · 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內 · 儀器上已經安裝有不銹鋼真空密封法蘭，壓力表和閥門（點擊下面的圖片查看詳細的信息） · |
| 加熱區長度 | · 三個溫區長度: (880mm, 35" in total) · 溫區 1: 220mm (8.6" ) · 溫區 2: 440mm (17.3") 溫區 3: 220 mm (8.6") 注：由于測量手段及外部環境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據，請與我公司銷售人員聯系 |
| 溫控系統 | · 三個精密溫度控制器，可獨立控溫 · PID控制方式,通過PWM固體繼電器。 · 30段可編程智能溫度調節儀，并可設置30段升降溫程序. · 帶有過熱和斷偶保護功能 控溫儀表操作視頻 |
| 控溫精度 | +/- 1℃ |
| 真空密封系統 | · 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥）. · 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵，真空度可以達到10-4 torr. · 漏氣率 < 5 m-torr / min · |
| 真空泵 | 采用雙旋機械泵，機械泵上安裝有進口的油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產生的油煙，減少泵油的損耗，保護環境和人體健康，過濾的*小微粒直徑為0.3微米 |
| 數字式真空顯示計 | 可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換 |
| 氣體流量計和壓力表 | · 三個浮子流量計，能夠檢測到氣體的流 · 三路浮子量程分別為 · 10-100 cc/min. · 16-160 cc/min. · 25-250 cc/min · 內部安裝有一混氣罐 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統側面上，可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力 |
| 閥門 | 四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統側面上，用于控制氣體的流量 |
| 外形尺寸 | · 爐子: 1100 X 450 x 670mm 底部移動架: 600x600x597mm |
| 開門斷電 | 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計 |
| 凈重 | 約 90 Kg |
| 運輸重量 | 245 lbs |
| 質保期 | 一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 |
| 質量認證 | CE certified |
| 使用注意事項 | · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
