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碳化硅涂層CVD爐
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湖南爍科熱工智能裝備有限公司
湖南
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1136
應用于半導體裝備的石墨或陶瓷碳化硅涂層生產,具有工藝氣體控制精度高、涂層均勻致密、涂層與基底結合良好、自動化程度高、可一鍵啟動等特點。
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