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臥式氧化爐

直接聯(lián)系

青島育豪微電子設(shè)備有限公司

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

育豪微電子

型號(hào)：

臥式氧化爐

關(guān)注度：

409

產(chǎn)品介紹

一、設(shè)備概述：

臥式氧化爐設(shè)備可應(yīng)用于集成電路、分立器件、 POWER、 MEMS等多種領(lǐng)域，適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化、擴(kuò)散、GPP、退火、合金等工藝。

氧化工藝是將硅片放置于氧氣或水蒸氣的氛圍中進(jìn)行高溫?zé)崽幚恚诠杵砻嫘纬裳趸さ倪^(guò)程，可作為離子注入的阻擋層及注入穿透層、表面鈍化、器件結(jié)構(gòu)的介質(zhì)層等

二、設(shè)備參數(shù)類型：

設(shè)備性能指標(biāo)
1	操作方式	根據(jù)客戶操作可定左/右手操作
2	管路數(shù)	1-5管
3	加工晶圓尺寸	4-8寸
4	適用工藝	擴(kuò)散（磷擴(kuò)、硼擴(kuò)）、氧化（干氧、合成）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金、鋁預(yù)沉積
5	工藝指標(biāo)	氧化膜厚均勻性（膜厚5000?） IW≤2%，W2W≤3%，R2R/D2D≤3%
6	溫度校準(zhǔn)功能	具有自動(dòng)校準(zhǔn)溫區(qū)功能，具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能
7	控溫模式	Spike控溫+Profile串級(jí)控溫
8	控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)	一體工控機(jī)+PLC
9	報(bào)警保護(hù):	具有超溫報(bào)警，斷偶報(bào)警，氣體互鎖，氣體緩啟動(dòng)等功能

產(chǎn)品咨詢

臥式氧化爐

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