粉體行業(yè)在線展覽
立式真空擴散爐
面議
育豪微電子
立式真空擴散爐
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設(shè)備性能指標 | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路數(shù) | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 6-12寸 |
4 | 適用工藝 | 擴散(鎵擴)、玻璃鈍化(GPP)、退火、合金 |
5 | 溫度校準功能 | 具有自動校準溫區(qū)功能,具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能(選配) |
JRF 系列
真空退火爐/釬焊爐VTHK550
VSF-V 石英槽沉爐
氮化鋁粉體量產(chǎn)爐
碳化硅涂層CVD爐
蓄熱式熱力氧化RTO
厚膜燒結(jié)爐
RBC系列反應(yīng)燒結(jié)爐
中頻感應(yīng)爐
250727-7
燒結(jié)爐(硬質(zhì)合金)
YSJ-171212