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技術參數：

􀂾 真空泵連接真空室，控制單元提供電壓。

􀂾 主機的真空室含有金－鈀合金靶，玻璃罩樣品底座。

􀂾 "O"型密封封閉真空系統.

􀂾 頂部的陰極和磁偏轉體統連成一體。

􀂾 噴金儀上的工作電壓固定，電流可調.

􀂾 儀器底座面積：20cmX35cmX34cm，重量14 kg。

􀂾 其他可選的靶材: 鉑，Pt－Pd，Au。（客戶需另外購買

主要特點：

MSP－1S 噴金儀主要是為鎢燈絲掃描電子顯微鏡的樣品制備而設計的專用噴金儀.

其主要部件包括:

􀂾 樣品室

􀂾 真空系統

􀂾 噴金及控制系統