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原子力聲學(xué)顯微鏡是基于福朗霍夫非破壞性測(cè)量研究所(Saarbrucken，Germany)Walter Arnold教授的工作研制的。Hirsekorn等精辟地描述了常規(guī)的AFM與AFAM之間的差別。在常規(guī)AFM中，當(dāng)掃描材料表面時(shí)，懸臂（cantilever）振動(dòng)，樣品和儀器頂端產(chǎn)生力。而在AFAM 中，一個(gè)聲學(xué)調(diào)制器被放在樣品的下面，產(chǎn)生垂直和水平的振動(dòng)。系統(tǒng)利用懸臂產(chǎn)生的屈曲和扭轉(zhuǎn)，基于樣品局部的彈性、粘性和摩擦性質(zhì)產(chǎn)生圖象。這種分析類型叫做接觸共振光譜學(xué)（contact resonancespectroscopy），并同時(shí)產(chǎn)生拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)光譜和AFAM圖象。NT-MDT網(wǎng)站上有動(dòng)畫(huà)來(lái)解釋真實(shí)的實(shí)驗(yàn)以及衍生出來(lái)的圖象和測(cè)量結(jié)果。