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主要特點：

**的快速平行X光電子實時成像，可進行微區元素和化學態空間分布分析

X光電子成像保證空間分辨率優于3μm，**達到1μm

標準主機包含大面積XPS分析，、小面積XPS分析和ISS分析， XPS Imaging and XPS Mapping 等項功能

多種其它表面分析功能選件，如 AES/SAM、UPS和靈活多樣的樣品制備裝置

可保證**能量分辨率優于 0.45eV，。足以進行精細化學結構和化學價態分析

極好的譜分析靈敏度——可進行快速數據采集和分析， 取譜只需幾秒鐘

同軸中和電子槍—使得絕緣樣品分析簡單方便和有效

高性能深度剖析－可進行表面與界面、三維成分深度分布分析

THERMO VG先進的專業表面分析軟件AVANTAGE，WINDOWS NT操作平臺。工業化標準，分析功能強大，操作使用直觀方便，與其它商業應用軟件兼容性好。