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桌面單點測量

低成本的臺式壽命測量系統(tǒng)，可在不同的制備階段表征各種不同的硅樣品，沒有內(nèi)置的自動化。可選配手動z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。結(jié)果可視化的標準軟件。 MDPspot包括一個額外的電阻率測量選項。電阻率測量僅適用于硅，可用于沒有高度調(diào)整可能性的晶圓片，也可用于晶錠。須預(yù)定義這兩個選項之一。

特性

· 無接觸破壞的電子半導體特性μ-PCD測量選項外延片不可見的缺陷和檢測的靈敏度的可視化集成多達四個激光器適用于一個廣泛的注射水平獲取單一瞬態(tài)的原始數(shù)據(jù)以及用于特殊評估目的的圖

優(yōu)勢

· 用于不同制備階段，從成體到*終器件，多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置。

· 體積小，成本低，使用方便。擁有一個基本的軟件，結(jié)果可視化。適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整。

技術(shù)參數(shù)

其它細節(jié)

· 允許單片調(diào)查不同種類的晶圓片有不同的菜單監(jiān)控材料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性