我司在清華大學順利完成美國ARS無液氦超穩超低振動超高真空型低溫恒溫器與客戶STM系統的集成驗收工作

近日我司在清華大學順利完成美國ARS（ADVANCED RESEARCH SYSTEMS）無液氦超穩超低振動超高真空型低溫恒溫器與客戶掃描隧道顯微鏡STM（scanning tunneling microscope)系統的集成驗收工作，該款低溫恒溫器是世界上**用于掃描隧道顯微鏡STM（scanning tunneling microscope)的無液氦閉循環系統，可實現樣品~7-350K（低溫可選＜3.5K，高溫可選800K）溫區內連續變溫測試。

該款低溫恒溫器運行過程中完全無需液氦，納米級的超低振動使其成為低溫變溫掃描隧道顯微鏡STM（scanning tunneling microscope)，掃描電子顯微鏡SEM（scanning electron microscope），原子力顯微鏡AFM(Atomic Force Microscope)，掃描探針顯微鏡SPM等測試的**。

該款系統完全不受液氦供應限制，相比較液氦系統操作簡單方便，只需要幾個按鈕就可以實現樣品的低溫變溫測試。

X-20B超低振動超精細閉循環低溫恒溫器主要用于UHV環境。ARS生產的X-20B恒溫器是真正的UHV系統，真空度可達10-11 Torr，該產品全部用焊接接頭及金屬密封替換橡膠O圈密封，并在制冷機上直接焊接CF法蘭。

X-20B系列恒溫器的冷頭可以直接從該系統上移除且不會破壞系統真空度，所以X-20B系統的另一個優勢就是可以輕松烘烤到200℃。

X-20B系列恒溫器使用氦氣交換冷卻樣品，系統振動級別僅為3-5nm，樣品處*低溫度可達3.5K，**溫度可達800K。

應用實例

• 低振動UHV應用

• 顯微實驗

• 表面物理

• 納米材料

典型特點

• 3-5 nm超低振動

• 10-11 Torr真正的超高真空環境

• 移除冷頭可烘烤至200℃

• 開放的樣品空間

• 冷頭朝下放置

• 可根據客戶要求進行定制