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特點

備注

溫度范圍：7K-400K

10英寸不銹鋼真空室

8英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏

2.25英寸鍍金無氧銅樣品臺

可升級4英寸樣品臺

高純石英觀察窗

藍寶石防熱輻射屏冷窗

多至6個三維微操作探針臂

可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂

控溫系統(tǒng)：高精度4通道控溫儀、用于測量樣品溫度的校準行硅二極管溫度計（±12mK）、加熱器

溫度計安裝位置：

1、冷頭溫度計，用于診斷

2、樣品臺溫度計及加熱器，用于控制樣品臺溫度，實現(xiàn)精確控溫

3、樣品溫度計，用于精確測量樣品溫度

4、冷屏溫度計及加熱器，用于控制加熱冷屏溫度，實現(xiàn)快速換樣

三級減振系統(tǒng)樣品臺綜合振動 < 1微米

樣品臺振動 < 100nm

7:1顯微觀測系統(tǒng)，3微米分辨率，環(huán)形光源

可升級16:1顯微觀察系統(tǒng)

規(guī)格及技術參數(shù)

制冷方式

閉循環(huán)制冷，無需液氦

溫度范圍

7K-400K

（可選更高制冷量DE215冷頭冷臺溫度<4K，安裝高溫隔熱臺高溫度可達800K）

溫度穩(wěn)定性

優(yōu)于50mK

泵抽真空時間

機械泵約45分鐘

分子泵約10分鐘

降溫時間

約2到2.5小時（DE204P冷頭）

真空腔

不銹鋼真空腔

直徑10英寸

上蓋安裝高純石英窗口

防熱輻射屏

鍍鎳無氧銅防熱輻射屏

直徑8英寸

上蓋藍寶石冷窗

熱連接至1級冷頭

樣品臺

鍍金無氧銅樣品臺

2.25英寸直徑

樣品臺連接

接地（標準）

絕緣（可選）

偏壓，通過同軸電纜至外部BNC接頭（可選）

偏壓到Guard，通過同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭（可選）

探針臂位移臺

手動驅動

不銹鋼焊接波紋管連接

X方向（軸向）2英寸行程

Y方向（橫向）1英寸行程（標準）

2英寸行程（可選）

Z方向（垂直方向）0.5英寸行程

刻度10微米

靈敏度5微米

振動

三級減振，樣品臺綜合振動優(yōu)于1微米

溫度計安裝

4個溫度計，2套加熱器

4個溫度計位置：

1個DT-670B-SD溫度計安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫

1個DT-670B-SD安裝于樣品臺底部用于控溫

1個DT-670B-SD安裝于冷頭位置用于診斷

1個校準型DT-670-CU-4M溫度計安裝在樣品臺頂部樣品附近，用于精確測溫

2套加熱器位置：

1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺底部用于控溫

1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統(tǒng)快速升溫

顯微觀測系統(tǒng)

標準7:1顯微鏡

4.2毫米-0.61毫米視野

工作距離：89毫米

數(shù)值孔徑：0.024-0.08

光源：環(huán)形光源

分辨率：3微米

安裝手動三維位移臺

高分辨率24英寸顯示器

可選16:1顯微鏡

12.8毫米-0.8毫米視野

工作距離：89毫米

數(shù)值孔徑：0.0090-0.15

光源：環(huán)形光源

分辨率：2微米

安裝手動三維位移臺

高分辨率24英寸顯示器

探針臂

直流/低頻探針臂

微型同軸電纜

接頭：SMA或BNC

頻率：0-100兆赫茲

阻抗：50歐姆

包含接地屏蔽接頭

三同軸電纜

接頭：三同軸接頭

頻率：0-100兆赫茲

阻抗：50歐姆

卡爾文探針

電纜：同軸或三同軸

接頭：SMA/BNC/三同軸

頻率：0-100兆赫茲

針尖材料：

鎢針（標準）

鍍金鎢針（可選）

鈹銅鍍金（可選）

針尖半徑：

0.5微米（其他半徑可選）

GSG高頻探針臂

0-40GHz

接頭：K型接頭

電纜：半剛性同軸電纜

針尖：鎢針或鈹銅針尖

0-50GHz

接頭：2.4

電纜：半剛性同軸電纜

針尖：鎢針或鈹銅針尖

0-67GHz

接頭：1.85

電纜：半剛性同軸電纜

針尖：鎢針或鈹銅針尖

光纖探針臂

紫外/可見 或 可見/紅外

接頭：SMA905公頭

光纖樣品端：拋光裸頭

尺寸：100微米-400微米

單模或多模