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SD-900 型離子濺射儀外觀亮麗，做工精致，旋鈕式定時器檔位清晰，手感舒適；特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大氣；前面板上的微泄漏氣閥門可以連接多種氣體；調(diào)節(jié)濺射電流大小，成膜速度快，質(zhì)量好；功能控制和定時皆由CPU調(diào)度，使用范圍廣。

工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及選擇所需的電離氣體，獲得**鍍膜效果。

SD-900型是一款*常用的離子濺射儀，是一切濺射儀的基礎(chǔ)。是以金屬靶材和樣品臺分別作為陰陽兩極，在真空狀態(tài)下產(chǎn)生輝光放電，使金原子與殘存的氣體不斷碰撞而沉積成薄膜。可以使用Au，Pt，Cr、Al、Cu等靶材。

具有成膜均勻，操作簡單，所需時間短，過程可控等優(yōu)點。

配有高位定性真空泵

參數(shù)：

主機規(guī)格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（標配）也可根據(jù)實際情況配備銀靶、鉑靶等。

樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

樣品臺尺寸：可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺，也可根據(jù)自身要求定制樣品臺

靶材尺寸：Ф50mm

真空指示表： **真空度：≤ 4X10-2 mbar

離子電流表： **電流：50mA

定時器： *長時間：0-360S

微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

可通入氣體： 多種

**電壓： -1600 DCV

機械泵：標準配置2L/S（國產(chǎn)VRD-8）

輸入電壓：220V(可做110V)，50HZ

特點：

1、簡單、經(jīng)濟、可靠、外觀精美。

2、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。

3、SETPLASMA手動啟動按鈕可預先設置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。

4、真空保護可避免真空過低造成設備短路。

5、同時可以通過更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、鈀等），以達到更細顆粒的涂層。

6、通過通入不同的惰性氣體以達到更純凈的涂層。

需要鍍膜的樣品

1、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品，塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料，那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用，防止此類損傷；

2、非導電的樣品:

由于樣品不導電，其表 面帶有“電子陷阱”， 這種表面上的電子積累 被稱為“充電”。為了 消除荷電效應，可在樣 品表面鍍一層金屬導電 層，鍍層作為一個導電 通道，將充電電子從材 料表面轉(zhuǎn)移走，消除荷 電效應。在掃描電鏡成 像時，濺射材料增加信 噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。

3、新材料:非導電材料和半導體材料